在本文中主要讨论了用等离子体法来处理挥发性有机物的应用研究和Mo5+掺杂的改性纳米TiO2的制备研究。根据等离子的基本理论，得出了等离子体处理VOCs的机制：在放电反应产成的活性粒子的作用下，发生一系列的物理化学反应，使有害的VOCs转化为无害的物质。其可能的途径是：高能电子经过与目标分子发生非弹性碰撞，将能量全部或部分传递给分子，使其裂解，激化。其后，被高能电子裂解、激化的分子被氧化成CO2、CO和H2O。在VOCs的降解试验中，我们选择了苯和甲苯作为处理对象。试验结果表明放电时间的延长、放电电压的提高、适宜的相对湿度、较低的温度和较低甲苯的初始浓度都有利于提高甲苯和苯的降解效率。在完全相同的条件下，两种物质的降解率高低为：甲苯>苯。本文采用溶胶-凝胶法制备了Mo5+掺杂的改性纳米TiO2，采用X-射线衍射(XRD)、热重-差示扫描量热法(TG-DSC)、紫外可见分光光度法（UV-VIS）对制备的TiO2分别表征了其相组成、掺杂量对相变温度的影响以及吸光度。结果表明未经焙烧的TiO2为无定形态结构，550℃和650℃为锐钛矿相，700℃时锐钛矿相已部分转变为金红石相。掺杂Mo5+的纳米TiO2发生红移，吸光度也增大了。通过试验确定了制备TiO2的最佳配比和热处理温度： Mo/Ti（原子比）＝1mol％，热处理温度为550℃，其晶粒均在20nm左右。